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制作纳米线电路的新技术

  发布日期:2008-7-8  点击次数:6925
    最近,哈佛大学工程与应用科学学院的科学家与德国耶拿大学、哥廷根大学和不来梅大学的研究人员合作开发出了一种制作纳米线光子和电子集成电路的新技术。这种技术集成了光刻技术和硅集成电路生产过程中所使用的旋涂玻璃(Spin on Glass)技术,可以将纳米线直接集成到硅片上,成本较低,未来有望用于商业生产。相关研究由美国国家科学基金会(NSF)和德国研究基金会(DFG)共同资助。

    摘译自http://harvardscience.harvard.edu/engineering-technology/articles/researchers-develop-new-technique-fabricating-nanowire-circuits
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