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澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

  发布日期:2009-9-22  点击次数:3811
     本报讯 据澳大利亚莫纳什大学网站报道,澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。

    电子束曝光技术可直接刻画精细的图案,是实验室制作微小纳米电子元件的最佳选择。这款耗资数百万美元的曝光系统将在澳大利亚亮相,并有能力以很高的速度和定位精度制出超高分辨率的纳米图形。该系统将被放置在即将完工的墨尔本纳米制造中心(MCN)内,并将于明年3月正式揭幕。

    MCN的临时负责人阿彼得·凯恩博士表示,该设备将帮助科学家和工程师发展下一代微技术,在面积小于10纳米的物体表面上实现文字和符号的书写和蚀刻。此外,这种强大的技术正越来越多地应用于钞票诈骗防伪、微流体设备制造和X射线光学元件的研制中,还可以支持澳大利亚同步加速器的工作。

    凯恩说:“这对澳大利亚科学家研制最新的纳米仪器十分重要,其具有无限的潜力,目前已被用于油漆、汽车和门窗的净化处理,甚至对泳衣也能进行改进。而MCN与澳大利亚同步加速器相邻,也能吸引更多的国际研究团队的目光。”

    MCN的目标是成为澳大利亚开放的、多范围的、多学科的微纳米制造中心。该中心将支持环境传感器、医疗诊断设备、微型纳米制动器的研制,以及新型能源和生物等领域的研究和模型绘制。除电子束曝光系统外,MCN中还包含了高分辨率双束型聚焦离子束显微镜、光学和纳米压印光刻仪、深反应离子蚀刻仪和共聚焦显微镜等众多设备。

    凯恩认为:能够介入这种技术使我们的科学家十分兴奋,它可以确保我们在未来十年内在工程技术前沿领域的众多方面保持领先地位,也将成为科学家在纳米范围内取得更大成就的重要基点。(张巍巍)

    文章出处:科技日报
 
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